CASE STUDY導入事例 : 産業機器分野

電極加圧力に比例して表面ひずみが発生する部位に圧電式ひずみセンサをM6の六角穴付き皿ボルトで取付け、電極加圧力に含まれる変動成分に着目することにより、スパッタの発生を検知することが出来ます。